二氧化碳发泡机

设备功能：

二氧化碳发泡机又称超纯水抗静电装置、超纯水电阻率调节装置，是半导体切割工序的必备设备；在半导体行业生产中，使用超纯水有助于提高产品良品率，但是超纯水具有很高的电阻率，因此也容易在产品表面产生静电，对产品造成伤害。二氧化碳发泡机就是为了解决这一问题而研制，向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳来降低超纯水的电阻率，防止在划片和清洗制程中产生静电而损伤产品。

技术参数
产品概述

项目	COII-2000L/H型	COII-3500L/H型

纯水压力	0.3-0.5 MPa	0.3-0.5 MPa
纯水温度	5-35℃	5-35℃
阻抗设定范围	0.2-2 MΩ•CM	0.2-2 MΩ•CM
供水能力	300-2000L/H	300-3500L/H
电源	单相 AC220V	单相 AC220V
功率	≤90W	≤90W
尺寸（WDH）	5264101156 mm	5264101156 mm
重量	≤45 Kg	≤50 Kg