技术规格
● 机器型号：DAF-1000
● 晶圆的尺寸：3、4、5、6、8、
● 铁环的尺寸：8英寸标准
● 膜的宽度：290mm
● 贴膜原理：防静电滚轮贴膜,采用导轨式平移滚轮，机器自动贴膜
● 晶圆台盘：通用特氟龙防静电涂层接触式台盘，台盘温度设定是室温到70℃
● DAF膜分离原理：如下图，马达传动送膜滚轮，回收轴拉膜，通过刀口自动分离预切割膜。
● 装卸方式：手动放置晶圆和铁环，其余有机器自动完成
● 防静电控制：配防静电离子风和防静电涂层台盘
● 电源:AC220V 50/60HZ.  10A
● 压缩空气：0.5mpa
● 机器尺寸：长1200*宽650*高1750mm